Semiconductor fabricatio est late processus chemicus ligatus, cum usque ad 20% gradus processus lagani praeparationis superficiei purgatio et laganum est;
Solet referre de materiis chemicis in lagano fabricandis ut processibus chemicis, quae in diversis formis chemicis (liquid et gaseis) ac stricte in puritate moderantur.Praecipuae functiones harum processus oeconomiae sunt hae:
Purgo superficies lagana cum solutione chemica humida et aqua ultrapura;
Silicon lagana doping magna industria ions ad P-typum vel N-typum materiae siliconis obtinendum;
Depositio conductoris diversarum stratarum metalli et necessariae stratis dielectricis inter stratis conductor;
Tenues SiO2 stratum generare sicut portam principalem materialem dielectricam MOS machinas;
Utere plasmate aucto etching vel humido regentes ut materias selectas removerent et exemplar desideratum in cinematographico formarent;
Reagentia liquida summus puritatis in tres gradus collocantur: UP-S, UP, EL secundum puritatem, EL ulterius in;
Gradus electronicus 1 (EL-Ⅰ)
immunditia metallica contentum 100-1000 PPb habet, quod aequipollet vexillum SEMI C1 C2;
Gradus electronicus 2 (EL-Ⅱ)
ejus metalli immunditia contenta est 10-100 PPb, aequivalens cum signo SEMI C7;
Electronic gradus III (EL-Ⅲ)
immunditiam metallicam contentum 1-10 PPb habet, quod aequipollet vexillum SEMI C7;
Gradus electronicus 4 (EL-IV)
immunditia metallica contentum habet 0.1-1PPb, quod aequipollet vexillum SEMI C8;
Reagentes ultra munditiam et puritatem internationalem notae sunt ut processus oeconomiae, etiam chemicae udae notae, et una e clavis fundamentalibus materiae chemicae in productione processus ambitus integrati (IC) et permagnae ambitus integrati (VLSI) .Ponitur etiam ad purgandum et ad purgandum superficiem lagani pii.Puritas et munditia regentes ultra-mundum et excelsum puritatem habent momentum maximum in cede, proprietatibus electricis et in circuitibus integratis commendatio.Multae varietates electronico-graduum oeconomiae et technicae altae sunt.Fundatur in technologia microelectronicorum evolutione.Cum progressu technologiae microelectronicarum, synchrone vel ante tempus efficitur.Eodem tempore technologiam microelectronicarum evolutionem restringit.
Post tempus: Iun-23-2022